Keithley 4200A-SCS半导体参数分析仪

Keithley 4200A-SCS半导体参数分析仪


使用吉时利4200A-SCS参数分析仪(参数测试仪) 加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发,完成制程控制、可靠性分析和故障分析。 4200A-SCS是业内性能领先电学特性半导体参数分析仪,提供同步电流电压曲线测试(IV曲线测试)、电容电压曲线测试(CV曲线测试)和超快脉冲IV曲线测量。


直流电流-电压 (I-V) 范围

10aA - 1A
0.2µV - 210 V

电容-电压 (C-V) 范围

1kHz - 10MHz
±30V直流偏置

脉冲 I-V 范围

±40V(80 V p-p),±800mA 200MSa/s,5ns采样率

参数查看

参数查看,快速清晰。

推进大胆发现从未如此容易。4200A-SCS 参数分析仪从设置到运行检定测试的时间减少高达 50%,从而实现无与伦比的测量和分析能力。此外,嵌入式测量专业知识提供无与伦比的测试指导,并让您对最终结果充满信息。

特点

  • 用于 DC IV、CV 和脉冲 IV 测量类型的高级测量硬件
  • 立即使用 Clarius 软件中所含的数百种用户可修改应用程序测试开始测试
  • 自动实时参数提取、数据绘图、分析函数
准确的 C-V 表征

准确的 C-V 表征

使用吉时利最新的电容-电压单元 (CVU) 4215-CVU 测量一位数飞法。通过将 1 V AC 电源集成到吉时利行业领先的 CVU 架构中,4215-CVU 可在 1 kHz 至 10 MHz 的频率下进行低噪声电容测量。

特点

  • 同类产品中首款能够驱动1 V AC 电源电压的 CV 表
  • 1 kHz 频率,分辨率从1 kHz 到 10 MHz
  • 测量电容、电导和导纳
  • 使用 4200A-CVIV 多路开关最多可测量四个通道
测量 切换  重复

测量、 切换、 重复。

4200A-CVIV 多通道切换模块自动在 I-V 和 C-V 测量之间切换,无需重新布线或抬起探头端部。 与竞争产品不同,四通道 4200A-CVIV 显示器提供本地可视查看,可快速完成测试设置,并在出现意想不到的结果时轻松排除故障。

特点

  • 无需重新布线即可将 C-V 测量移动到任何设备终端
  • 用户可配置低电流功能
  • 个性化输出通道名称
  • 查看实时测试状态
稳定的低电流测量,适用于 I-V 检定

稳定的低电流测量,适用于 I-V 检定

使用 4201-SMU 和 4211-SMU 模块,您可以在高电容系统中实现稳定的低电流测量。4200A-SCS 有四种型号的源测量单位 (SMU) 可供选择,可通过定制满足您所有的 I-V 测量需求。通过提供现场可安装单元和可选的预放大器模块,Keithley 可确保您获得最准确的低电流测量,而停机时间很少甚至没有。

特点

  • 不必将仪器送回工厂即可增加 SMU
  • 进行 飞安测量
  • 多达 9 个 SMU 通道
  • 针对长电缆或大卡盘进行了优化
带分析探测器和低温控制器的集成解决方案

带分析探测器和低温控制器的集成解决方案

4200A-SCS 参数分析仪支持许多手动和半自动晶片探测器和低温控制器,包括 MPI、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低温控制器。

特点

  • “点击”测试定序
  • “手动”探测器模式测试探测器功能
  • 假探测器模式无需移除命令即可实现调试
降低成本并保护您的投资

降低成本并保护您的投资

吉时利保障计划以按需服务事件的一小部分成本提供快速、高质量的服务。 只需点击一下或拨打一个电话即可获得维修服务,在此过程中,无需报价或填写采购单,也不会有审批延误。

型号 描述
4200A-SCS-PKA
高分辨率 IV 套件
4200A-SCS:参数分析仪主机
4201-SMU:两个用于高容量设置的中功率 SMU
4200-PA:一个预放大器
8101-PIV:一个带有采样装置的测试夹具
4200A-SCS-PKB
高分辨率 IV 和 CV 套件
4200A-SCS:参数分析仪主机
4201-SMU:两个用于高容量设置的中功率 SMU
4200-PA:一个预放大器
4215-CVU:一个高分辨率多频 C-V 单元
8101-PIV:一个带有采样装置的测试夹具
4200A-SCS-PKC
高功率 IV 和 CV 套件
4200A-SCS:参数分析仪主机
4201-SMU:两个用于高容量设置的中功率 SMU
4211-SMU:两个用于高容量设置的高功率 SMU
4200-PA:两个预放大器
4215-CVU:一个高分辨率多频 C-V 单元
8101-PIV:一个带有采样装置的测试夹具
4200-BTI-A
超快 NBTI/PBTI 套件
用于使用尖端硅 CMOS 技术进行的复杂 NBTI 和 PBTI 测量 4200-BTI-A 套件包括:
  • 1 个 4225-PMU 超快 I-V 模块
  • 2 个 4225-RPM 远程预放大器/开关模块
  • 自动化检定套件 (ACS) 软件
  • 超快 BTI 测试项目模块
  • 布线
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